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通过原子力显微镜获取纳米级形貌信息，同时在原位利用激光共焦拉曼光谱获取其分子结构信息。

1. 显微共焦拉曼光谱仪部分：内置高稳定532 nm和785nm激光器，及相应的滤光片组件、多级激光功率衰减片；空间分辨率：在x100倍镜头下，横向分辨率<0.5微米，光轴方向纵向分辨率<2微米，共焦深度连续可调；拉曼频移范围：532nm:100-4000 cm-1；785nm:100-3500cm-1;光谱分辨率：可见全谱段≤2 cm-1；针对每个激发波长配高低分辨率光栅，便于选择多种光谱分辨率；XYZ自动平台：扫描范围：X ≥ 100 mm，Y ≥ 70 mm；最小步长≤ 0.1 μm；可对样品测量部位自动定位并进行拉曼成像，便于使用内置软件拼接图像；Z轴微动平台最小步长≤ 0.1 μm。
2. 原子力显微镜部分：大扫描器：XY方向扫描范围不小于90um x 90um, Z方向不小于7.5um, 要求三方向闭环控制；小扫描器: XY方向扫描范围不大于5um x 5um, Z方向不大于2.5um；噪音水平及分辨率：在使用大扫描器下, Z方向开环噪音RMS值< 0.5 Å ，Z方向闭环噪音RMS值< 0.2nm，可稳定地获得云母和石墨的原子图像；光学系统：光学视场范围从0.25mm至1.25mm, 可马达控制连续变焦, 分辨率：1.5µm。